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离子源.jpg

 

 

星弧涂层的离子束源为阳极层离子束,它是一种带有闭环电子偏移离子发射通道冷阴极形式的离子源。该离子源由作为冷阴极电子发射源的导磁壳体,离子发射通道和位于通道之下对?#21697;植?#20110;壳体之中的阳极构成。连续的通道构成磁场间隙并提供偏移电子闭合回旋和加速。
        星弧可为客户提供应用于各行业的各种离子束模块,同时配备星弧或其它品牌的相应电源。

技术特点:
  平行离子束
  ?#23376;?#23433;装的法兰形式
●  增强离子束中和能力
●  能量可到2000 eV

典型应用:
高精密镜面模具
半导体封装模具
有色金属、石墨、?#24378;?#21147;等材料切割的精密刀具
自润滑耐磨零件
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